PanLinx: electron-beam writing

English	eng-000
electron-beam writing

русский	rus-000	запись электронным лучом
русский	rus-000	электронно-лучевая запись
русский	rus-000	электронно-лучевое формирование рисунка
русский	rus-000	электронно-лучевое экспонирование

PanLex-PanLinx